十二五中國(guó)將重點(diǎn)發(fā)展光伏生產(chǎn)專用設(shè)備：支持還原、氫化等多晶硅生產(chǎn)設(shè)備，大尺寸、低能耗、全自動(dòng)單晶爐，噸級(jí)多晶硅鑄錠爐，大尺寸、超薄硅片多線切割機(jī)，硅片自動(dòng)分選機(jī)等關(guān)鍵光伏生產(chǎn)設(shè)備。

支持多槽制絨清洗設(shè)備、全自動(dòng)平板式等離子體增強(qiáng)化學(xué)汽相沉積（PECVD）、激光刻蝕機(jī)、干法刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)、全自動(dòng)印刷機(jī)、快速燒結(jié)爐等晶硅太陽(yáng)能光伏電池片生產(chǎn)線設(shè)備和PECVD等薄膜太陽(yáng)能光伏電池生產(chǎn)設(shè)備。促進(jìn)光伏生產(chǎn)裝備的低能耗、高效率、自動(dòng)化和生產(chǎn)工藝一體化。

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