近日，中科院微電子所微電子設備技術究室夏洋研究員、劉邦武、劉金虎等科研人員組成的研發(fā)團隊聯(lián)合嘉興中科院微電子儀器與設備工程中心在黑硅太陽能電池研究上再獲進展。繼2012年11月多晶硅電池轉換效率達到17.88%后，再度取得進展，突破18.3%。

該團隊利用自行研制的等離子體浸沒離子注入設備，制備了納米表面結構的黑硅材料。黑硅的納米結構具有良好的吸光性能，也可以提高電池的填充因子與短路電流，從而大幅度提高電池的轉換效率。該技術簡單可控，可以減少部分化學液體的使用，與現(xiàn)有的硅電池生產(chǎn)線工藝完全兼容，有望在新一輪的光伏產(chǎn)業(yè)重組中占據(jù)技術優(yōu)勢，為我國光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展做出貢獻。

該研究項目得到了國家自然基金委、中國科學院的項目資助。

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