近日,青海省重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目“原生多晶硅切割制備硅芯及硅芯對接技術(shù)研究”通過專家驗(yàn)收。
項(xiàng)目針對硅芯制備傳統(tǒng)區(qū)熔法拉制和單晶硅棒切割在生產(chǎn)過程中存在雜質(zhì)攝入污染、硅芯生產(chǎn)成本高的問題,攻克了原生多晶硅切割制備硅芯及硅芯對接技術(shù),消除了原生多晶硅棒應(yīng)力,實(shí)現(xiàn)了運(yùn)用原生多晶硅切割技術(shù)制備硅芯,并建成年產(chǎn)2萬根原生多晶硅切割制備硅芯中試線。硅芯產(chǎn)品較傳統(tǒng)區(qū)熔法和單晶硅棒切割法,各項(xiàng)雜質(zhì)含量下降約70%,生產(chǎn)成本降低62%,達(dá)到電子一級(jí)品(GB-T12963-2014),對全省多晶硅產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供了科技支撐。
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